대학교육혁신본부

진공열증착기(Thermal Evaporator)

• 모델명 DDHT-030
• 설치장소 경상국립대학교 가좌캠퍼스 반도체 공동연구소 USG 클린룸

대학교육혁신본부

탁상형주사전자현미경(Tabletop Scanning Electron Microscope)

• 모델명 CUBE Ⅱ
• 설치장소 경상국립대학교 가좌캠퍼스 반도체 공동연구소 USG 클린룸

대학교육혁신본부

웻벤치(Wet bench)

• 모델명 Wet station
• 설치장소 경상국립대학교 가좌캠퍼스 반도체 공동연구소 USG 클린룸

대학교육혁신본부

플라즈마 화학 기상 증착 장비(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)

• 모델명 PECVD
• 설치장소 경상국립대학교 가좌캠퍼스 반도체 공동연구소 USG 클린룸

대학교육혁신본부

전자빔 증착기(E-beam evaporator)

• 모델명 SOLAR-BridgeDDHT-SB058
• 설치장소 경상국립대학교 가좌캠퍼스 반도체 공동연구소 USG 클린룸

대학교육혁신본부

마스크 얼라이너(MASK ALIGNER & EXPOSURE SYSTEM)

• 모델명 P150
• 설치장소 경상국립대학교 가좌캠퍼스 반도체공동연구소 USG클린룸

대학교육혁신본부

확산로(Diffusion furnace)

• 모델명 PYRO-H Series
• 설치장소 경상국립대학교 가좌캠퍼스 반도체 공동연구소 USG 클린룸

대학교육혁신본부

접촉식 단차 측정기(Contact Surface Profiler)

• 모델명 DektakXT-E
• 설치장소 경상국립대학교 가좌캠퍼스 반도체 공동연구소 USG 클린룸

대학교육혁신본부

주파수 응답 및 임피던스 분석기(Frequency Response Analyzer and Impendance Analyzer)

• 모델명 PSM3750
• 설치장소 경상국립대학교 가좌캠퍼스 404동 지상 2층210호

대학교육혁신본부

마그네크론 스퍼터링 장비(Magnetron sputtering system)

• 모델명 RF/DC magnetron sputtering
• 설치장소 경남대학로 7 경남대학교 정훈관 지상 4층디지털시스템실험실호

대학교육혁신본부

산화로(Oxidation Furnace)

• 모델명 PYRO-H Series
• 설치장소 경상국립대학교 가좌캠퍼스 반도체 공동연구소 USG 클린룸

대학교육혁신본부

엘립소미터(ellipsometer)

• 모델명 SE MG-1000UV
• 설치장소 경상국립대학교 가좌캠퍼스 반도체 공동연구소 USG 클린룸

대학교육혁신본부

반도체 소자 계측기(semiconductor parameter Analyzer)

• 모델명 4200A-SCS
• 설치장소 경상국립대학교 가좌캠퍼스 반도체 공동연구소 USG 클린룸

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원자층 박막 증착기(Atomic Layer Deposition System)

• 모델명 Lucida D100
• 설치장소 경상남도 진주시 경상국립대학교 가좌캠퍼스 반도체공동연구소 USG클린룸

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급속열처리장치 (RTP)(Rapid Thermal Processing (RTP))

• 모델명 Real RTP 100
• 설치장소 반도체공동연구소 USG클린룸